Sensirion SLQ-QT500, ecco il piccolo sensore per il settore dei semiconduttori

Pubblicato il 15 luglio 2013

Sensirion SLQ-QT500 è il nuovo sensore che misura il flusso di liquido nell’intervallo 0-120ml/min.

Il nuovo prodotto è realizzato con materiali puri e precisione ed è progettato per le esigenze del settore dei semiconduttori.
Il SLQ-QT500 copre portate da 0 – 120ml/min e come con tutti i sensori di flusso di liquido Sensirion, il canale di flusso è  diritto e non ha parti in movimento.

Il sensore si basa sui CMOSens brevettati  Technology. La misurazione del flusso microtermica è eseguita attraverso la parete del canale della portata, che separa il chip dai liquidi misurati.

Pertanto, solo il tubo PFA e il canale di flusso di quarzo sono in contatto diretto con il liquido. Questo garantisce che il sensore ha una resistenza chimica. Grazie a queste caratteristiche così come l’interfaccia digitale RS485, il sensore è in grado di ottenere una misurazione affidabile con una frequenza di campionamento fino a 1 ms.

SLQ-QT500 è perfetta per i requisiti di purezza dei nell’industria dei semiconduttori Esso può essere utilizzato per monitorare processi di rivestimento con una varietà di liquidi e consente il processo ottimali. sicurezza, ” spiega Andres Laib, Direttore Vendite.



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