Aerotech, l’asse piezo progettato per obiettivi per microscopia e di ottiche

Pubblicato il 13 giugno 2017

L’asse piezo per nanoposizionamenti QFOCUS QF-50 di Aerotech è stato progettato per il posizionamento ad alte prestazioni di obiettivi per microscopia e di ottiche. Questo offre una corsa di 400 μm ad anello chiuso e di 450 μm ad anello aperto, un’elevata velocità, una linearità dello 0,01%, una risoluzione subnanomtrica e una ripetibilità bidirezionale di 4 nm.

Oltre a poter alloggiare strumenti ottici, il QF-50 è adatto anche per applicazioni di microlavorazione laser di prossima generazione. Grazie a una struttura a elevata rigidità, le prestazioni del QF-50 possono superare quelle di scanner piezo concorrenti grazie a obiettivi più grandi, e apertura numerica (NA) più elevata. Il QF-50 è ideale per le applicazioni di posizionamento ottico che richiedano un’elevata precisione e produttività, unite a corse lunghe.

Il QFOCUS QF-50 è guidato da elementi flessibili di precisione ottimizzati tramite l’analisi a elementi finiti per una rigidità e frequenza di risonanza, che consente una produttività di processo e una risposta ad anello chiuso e veloce. Una cura è stata dedicata alla progettazione degli elementi flessibili dell´asse QF-50.
Il feedback ad anello chiuso, disponibile come opzione, sfrutta una soluzione unica basata su sensore capacitivo e consente una risoluzione subnanomtrica e una linearità. A differenza di sensori estensimetrici o piezoresistivi, i sensori capacitivi forniscono una misura diretta del carrello di posizionamento per una precisione e una ripetibilità superiori.

Accoppiato ai controllori e agli azionamenti serie Q di Aerotech, l’asse QF-50 dimostra una risoluzione di posizionamento e una stabilità di mantenimento della posizione (jitter) subnanometriche, offrendo allo stesso tempo una ampiezza di banda del posizionamento. Opzioni software avanzate, come il Dynamic Controls Toolbox e il Motion Designer, offrono una varietà di tool molto efficaci e facili da utilizzare comprendenti Iterative Learning Control, Harmonic Cancellation, e Command Shaping, che consentono tracking errors e tempi di avanzamento e assestamento (step and settle) più contenuti. Sono disponibili azionamenti anche in versioni per Oem.

Il QF-50 è disponibile con adattatori filettati, utili per la maggior parte dei microscopi ed obiettivi. Il montaggio a torretta del microscopio permette un posizionamento rapido e semplice in qualsiasi orientazione desiderata. Inoltre, i fori filettati sul corpo della base permettono un montaggio alternativo per interfacce custom su macchine o altri strumenti ottici. Il QF-50 è disponibile di serie con un’apertura libera di 29 mm. E´ possibile richiedere versioni customizzate per la base, la corsa e gli adattatori filettati.



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