STMicroelectronics: nuova linea a otto pollici per produrre Mems ad Agrate Brianza

Pubblicato il 22 dicembre 2006

La nuova linea si estende su circa 1.300 metri quadrati, impiegando più di 100 persone, e sarà ulteriormente ampliata se si confermeranno le previsioni di crescita della domanda dovuta ad applicazioni sempre più consumer.

Pietro Palella, direttore generale di STMicroelectronics Italia, ha spiegato che questo importante investimento sottolinea l’impegno della ST a mantenere in Italia una base produttiva competitiva. “Mentre spostiamo in Estremo Oriente tecnologie di produzione consolidate, coerentemente con il trend globale nel campo della industria manifatturiera, continuiamo d’altra parte a capitalizzare sui talenti intellettuali in Europa. Questa nuova struttura produttiva rafforza la posizione di ST all’avanguardia in uno dei settori più promettenti al mondo. La nostra tecnologia per i Mems è stata sviluppata in origine nel nostro centro di Ricerca di Castelletto qui vicino, e siamo orgogliosi che Agrate adesso ospiti la linea di produzione Mems più avanzata al mondo”, ha aggiunto Palella.

L’investimento ha visto la conversione di una linea per circuiti integrati da 6 pollici in un’avanzatissima linea di produzione da 8 pollici dedicata ai Mems. Mentre le fasi costruttive fino alla fotolitografia utilizzano le stesse macchine impiegate nella produzione dei normali circuiti integrati (macchine che si è dovuto però adattare ai wafer da 8”), rispetto a una linea tradizionale la fabbricazione di Mems richiede alcuni passaggi aggiuntivi gestiti da macchine speciali che si occupano di saldare insieme le due fette di silicio necessarie a ricavare poi i Mems. Una macchina provvede all’applicazione della “colla” sulla fetta detta “cappuccio” con un procedimento di colata attraverso un retino simile alla serigrafia, mentre una seconda macchina procede all’allineamento e alla sovrapposizione dei due wafer. L’ultimo procedimento speciale è affidato a un sistema a ultrasuoni in grado di controllare la qualità del contenuto del “panino” di silicio.

ST è il primo grande produttore al mondo ad adottare gli otto pollici per fabbricare Mems. La scelta ha fatto seguito all’importante crescita della domanda, in parte già verificatasi e in parte prevista, dovuta all’impiego sempre più diffuso dei Mems in dispositivi destinati a mercati consumer (cellulari, laptop ecc.).