Impianti produttivi con sistema di analisi non invasivo per ST Microelectronics

Pubblicato il 21 novembre 2007

Obiettivo principale di ST Microelectronics era quello di poter controllare rapidamente alcune tra le soluzioni chimiche di processo più critiche, applicando una tecnologia non invasiva: ABB ha saputo proporre una soluzione vincente.

L’analizzatore fornito da ABB consentirà a ST Microelectronics di ottimizzare il controllo di processo attraverso analisi chimiche in linea, aumentare la resa manifatturiera di chip al silicio, limitare l’impiego di soluzioni chimiche e ridurre gli scarichi delle stesse, grazie al loro utilizzo su linee di riciclo controllate garantendo così una riduzione dell’impatto sull’ambiente.

Si tratta della prima fornitura di un analizzatore FTIR per il controllo di processi Semicon in Italia e rappresenta un successo per l’unità Analitical & Advanced Solutions di ABB che ha lavorato a stretto contatto dapprima con il centro R&D di ST Microlectronics e successivamente con il reparto produttivo di Agrate Brianza (Milano).

Il modello Wet Process Analyzer è dotato di quattro celle ClippIR+ a fibre ottiche, ciascuna dedicata all’analisi di contaminanti presenti nelle soluzioni di alcol isopropilico impiegate nel processo di lavaggio di wafer al silicio prodotti da ST Microelectronics e utilizzati per la produzione di chip.

L’analizzatore WPA si è rivelato uno strumento efficace per mantenere i parametri chimici chiave entro le specifiche di processo durante la fase di rimozione di polimeri sui wafer al silicio, i processi di lavaggio e le operazioni di etching selettivo su substrati metallici.

La tecnologia a infrarossi FTIR e la metodologia di analisi in-linea con la cella ClippIR+, brevettata da ABB, consente di effettuare analisi in scansione delle soluzioni di processo ogni 30 secondi, senza introdurre corpi estranei a contatto con il campione misurato, prelevare alcuna porzione della soluzione da analizzare e dover poi distruggere il campione analizzato. Grazie all’impiego di fibre ottiche, la misura analitica viene effettuata in-situ, senza estrarre il campione e quindi senza rischi di contaminazione.

Inoltre, l’analizzatore ABB WPA è versatile e la semplice sostituzione di un file all’interno del PC di controllo, rende lo stesso hardware riutilizzabile per applicazioni diverse da quelle inizialmente configurate.