Il sistema piezoelettrico P- 587.6cd ha una corsa in XYZ di 800x 800×200 micron e sui Theta di +500 microrad. I sensori di posizione di tipo capacitivo presenti sui 6 assi consentono un movimento controllato in tutte le direzioni, rendendo il sistema ideale per tutte le applicazioni di nano-metrologia, scansioni al microscopio, ottica e mask alignment.
Progettato per applicazioni industriali Oem, il sistema ha caratteristiche avanzate come autocalibrazione integrata, controllo attivo della traiettoria e sistema di movimentazione parallelo, il quale migliora la traiettoria bidirezionale e riduce il Cross-Talk.
Il sistema P-587.6cd è dotato inoltre di un controllore digitale interfacciabile al Pc che consente all’utente un utilizzo immediato.